特長
1.ネガ型の感光特性を有し、未露光部はアルカリ現像で除去可能。 ポジ型も展開中。
2.シート状のため、液状材料ではできない厚膜加工や中空構造形成に最適。
3.高耐熱性のため、高い信頼性が求められる用途に最適。
4.ラミネート時の流動性に優れ、段差のある基板への平坦な埋め込みや貼り付けが可能。
5.製品幅、膜厚については用途により調整可能。
用途・使い方
ファルダ™ ポリイミド系感光性接着剤シートは両面にカバーフィルムを貼り合わせた製品になります。一方のカバーフィルムを剥離し、ラミネーター、プレス機などで基材に貼り合わせることができます。貼り合わせ後は、露光、ベーク、現像といった一般的なフォトリソグラフィのプロセスでパターン加工が可能です。パターン加工後、高温（200℃以上）の熱硬化処理をすることで、優れた機械強度が発現するため、永久膜として使用できます。
＜使用方法＞
＜加工例＞
ネガ型パターン加工例 (膜厚20μm)
中空構造形成の例
ポジ型シート ビア加工例 (膜厚13μm)
＜用途例＞
センサー関連、MEMS用材料、多層配線基板など
技術情報
＜製品特性＞
| ネガ型代表特性 | ポジ型（開発品） | |
|---|---|---|
| 接引張強度 [MPa] | ＞100 | ＞120 |
| 伸度 [%] | ＞10 | ＞10 |
| 弾性率 [GPa] | ＞3 | ＞3 |
| 膜ストレス [MPa] | ＞30 | - |
| CTE [ppm/℃] | ＜55 | ＜55 |
| ガラス転移温度 [℃] | ＞250 | ＞260 |
| 5%重量減少温度 [℃] | ＞370 | ＞320 |
