膜状胶粘剂 FALDA™ 聚酰亚胺光敏型膜状胶粘剂FALDA™

FALDA™ 聚酰亚胺感光性膜状胶粘剂是一种负型光刻胶材料，采用东丽感光性聚酰亚胺技术和薄膜加工技术开发而成。这种产品可作为永久膜使用。它具有出色的耐热性、绝缘性能和可加工性、非常适合用作层间绝缘膜和中空结构（模腔）成型应用。我们还在面向高弹性模量、低线性热膨胀系数（低CTE）等需求开发新的型号。

特性

  1. 具有负型光敏特性，可通过碱性显影去除未曝光的部分。正型产品也在开发之中。
  2. 由于这款产品为膜材形式，因此非常适合厚膜加工和中空结构成型 - 如果使用液体形式，是无法支持这些应用的。
  3. 由于它具有高耐热性，因此非常适合需要高可靠性的应用。
  4. 覆膜时材料流动性优异，可均匀填满基板表面的凹凸不平、并保持表面平坦。
  5. 产品宽度和厚度可根据具体需求进行调整。

使用方法

FALDA™ 聚酰亚胺光敏型膜状胶粘剂在两侧表面上都有覆盖膜。剥离单面覆盖膜后可通过覆膜、压合的方式将其贴附在基板表面。贴附后，可以使用标准光刻工艺（曝光、烘烤、显影）进行图案加工。 图案生成后，通过高温热固处理（200°以上），使其拥有稳定良好的机械特性，并可作为永久膜使用。

应用：传感器相关、MEMS器件、多层布线基板等

加工工艺

· 层压→曝光/烘烤→显影→ 热固处理

负型图案加工示例（材料厚度为 20 µm）

L/S = 10/10 µm
L/S = 10/10 µm
20 µm 通孔
20 µm 通孔

空腔结构成型示例

空腔结构成型示例

正型膜材，通孔加工示例（材料厚度为 13 μm）

5 µm 通孔
5 µm 通孔
10 µm 通孔
10 µm 通孔

技术信息

项目 负型（量产品）代表特性 正型（开发品）
机械特性 杨氏模量 3 GPa 3 GPa
抗拉强度 100 MPa 120 MPa
拉伸伸长率 10% 10%
材料应力 30 MPa 测量中
热特性 玻璃转化温度 250°C 260°C
5% 减重温度 370°C 320°C
线性热膨胀系数 55 ppm/°C 55 ppm/°C

* 根据日本出口管制法律，此产品属于出口管制品。
因此，在出口该产品时，贵公司必须遵守《外汇和对外贸易法》规定，并获得经济、贸易和工业部部长发放的出口许可证。我们将就此流程与您联系。
另外，如果贵公司希望向日本国内工厂供应该产品，我们要求您将本文档的内容通知该工厂，并确保其遵守相应法律。

  1. 产品名称：FALDA™ 聚酰亚胺光敏型膜状胶粘剂
  2. 适用法律：《出口贸易管制令》第 1-5 条第 17 款/《部长条例》第 4 条第 14 款