接着剤フィルム ファルダ™ポリイミド系感光性接着剤フィルム

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ファルダ™ ポリイミド系感光性接着剤フィルムは、東レの感光性ポリイミド技術とシート加工技術を活かして開発されたネガ型フォトレジスト材料で、永久膜用途にご使用いただけます。耐熱性・絶縁性・加工性に優れており、層間絶縁膜、中空構造（キャビティ）形成用途などに最適です。高弾性率、低熱線膨張係数（低CTE）など用途に合わせた開発も行っております。

特長

1. ネガ型の感光特性を有し、未露光部はアルカリ現像で除去可能。 ポジ型も展開中。
2. シート状のため、液状材料ではできない厚膜加工や中空構造形成に最適。
3. 高耐熱性のため、高い信頼性が求められる用途に最適。
4. ラミネート時の流動性に優れ、段差のある基板への平坦な埋め込みや貼り付けが可能。
5. 製品幅、膜厚については用途により調整可能。

用途・使い方

ファルダ™ ポリイミド系感光性接着剤シートは両面にカバーフィルムを貼り合わせた製品になります。一方のカバーフィルムを剥離し、ラミネーター、プレス機などで基材に貼り合わせることができます。貼り合わせ後は、露光、ベーク、現像といった一般的なフォトリソグラフィのプロセスでパターン加工が可能です。パターン加工後、高温（200℃以上）の熱硬化処理をすることで、優れた機械強度が発現するため、永久膜として使用できます。

用途：センサー関連・MEMS用材料・多層配線基板　等

加工プロセス

ネガ型パターン加工例 (膜厚20μm)

中空構造形成の例

ポジ型シート　ビア加工例 (膜厚13μm)

技術情報