接着剤フィルム ファルダ®ポリイミド系感光性接着剤フィルムファルダ®

概要

ファルダ® ポリイミド系感光性接着剤フィルムは、東レの感光性ポリイミド技術とシート加工技術を活かして開発されたネガ型フォトレジスト材料で、永久膜用途にご使用いただけます。耐熱性・絶縁性・加工性に優れており、層間絶縁膜、中空構造(キャビティ)形成用途などに最適です。高弾性率、低熱線膨張係数(低CTE)など用途に合わせた開発も行っております。

特長

  1. ネガ型の感光特性を有し、未露光部はアルカリ現像で除去可能。 ポジ型も展開中。
  2. シート状のため、液状材料ではできない厚膜加工や中空構造形成に最適。
  3. 高耐熱性のため、高い信頼性が求められる用途に最適。
  4. ラミネート時の流動性に優れ、段差のある基板への平坦な埋め込みや貼り付けが可能。
  5. 製品幅、膜厚については用途により調整可能。

用途・使い方

ファルダ® ポリイミド系感光性接着剤シートは両面にカバーフィルムを貼り合わせた製品になります。一方のカバーフィルムを剥離し、ラミネーター、プレス機などで基材に貼り合わせることができます。貼り合わせ後は、露光、ベーク、現像といった一般的なフォトリソグラフィのプロセスでパターン加工が可能です。パターン加工後、高温(200℃以上)の熱硬化処理をすることで、優れた機械強度が発現するため、永久膜として使用できます。

用途:センサー関連・MEMS用材料・多層配線基板 等

加工プロセス

ラミネート→露光/ベーク → 現像 → 熱硬化処理

ネガ型パターン加工例 (膜厚20μm)

L/S=10/10μm
L/S=10/10μm
20μmビア
20μmビア

中空構造形成の例

中空構造形成の例

ポジ型シート ビア加工例 (膜厚13μm)

5μmビア
5μmビア
10μmビア
10μmビア

技術情報

項目 ネガ型(量産品) 代表特性 ポジ型(開発品)
機械特性 ヤング率 3GPa 3GPa
破断強度 100MPa 120MPa
破断伸度 10% 10%
膜ストレス 30MPa 測定中
熱特性 ガラス転移温度 250℃ 260℃
5%重量減少温度 370℃ 320℃
熱線膨張率 55ppm/℃ 55ppm/℃

※弊社本製品は、我が国の輸出管理法令におけるリスト規制貨物にあたります。
従いまして、当該製品を輸出する際には貴社において、外為法の規定に従い経済産業大臣の輸出許可を得ていただく必要がありますことをご連絡申し上げます。
また、貴社が下記の弊社製品を国内取引先等に提供される場合には、当該取引先等に対して本状の内容を文書により通知いただくとともに、当該取引先等に法令を遵守させていただきますようお願い申し上げます。

  1. 製品名 : ファルダ®ポリイミド系感光性接着剤フィルム
  2. 該当法令 : 輸出貿易管理令別表第1の5の項(17)/貨物等省令第4条十四号のロ